Was denken Sie: Wie viele Transistoren finden auf einem modernen Computerchip pro Quadratmillimeter Platz? Wenn ich in Millimeter-Dimensionen denke, wäre ich schon überrascht, wenn es ein paar Tausend wären. Tatsächlich haben auf den modernsten, mit der EUV-Lithografie hergestellten Mikrochips unvorstellbare 100 Millionen Transistoren auf einem einzigen Quadratmillimeter Platz!

EUV steht für extrem ultraviolette Strahlung. 13,5 Nanometer Wellenlänge hat das Licht, das die Herstellung von Strukturen in einer Größenordnung von weniger als 10 Nanometern ermöglicht. Gebraucht werden sie für die immer kleiner werdenden Mikrochips für Anwendungen wie künstliche Intelligenz, autonomes Fahren oder mobile Endgeräte.

Einer der Intel-Gründer, Gordon Moore, formulierte schon im Jahr 1965 das Gesetz, nachdem sich die Anzahl der Komponenten auf einem integrierten Schaltkreis alle 1-2 Jahre verdoppeln würde. Nur dank der EUV-Technologie hat das Gesetz bis heute Bestand, ansonsten wären die Grenzen des technisch Machbaren inzwischen erreicht.

180 Tonnen in 40 Containern für 1 Maschine

Gebaut werden Chips in dieser Größenordnung dank unserem Depotwert ASML. Die NXE:3400B-Lithigrafiemaschine wendet diese wegweisende Technik in einem Vakuum an – denn selbst normale Luft würde Licht dieser minimalen Wellenlänge ablenken. 125 Wafer pro Minute kann das Gerät produzieren.

Das Nachfolgemodell NXE:3400C wurde kürzlich zum ersten Mal verschickt und kann schon
170 Scheiben pro Minute. Die Maschine wiegt 180 Tonnen und kommt in 40 Containern, 20 Lastwagen und 3 Frachtflugzeugen zu Kunden wie Intel, Samsung oder TSMC, das Chips für Apple produziert. Die Kosten für das System liegen bei 150 Millionen Euro.

Der Auftragseingang für EUV-Maschinen steigt immer weiter

Ganz erfreulich für uns Anleger entwickelt sich der Auftragseingang solcher Maschinen. 2018 wurden nur 18 dieser Systeme von ASML ausgeliefert, dieses Jahr sollen es 26 werden und nächstes Jahr schon 35. 23 davon wurden allein im abgelaufenen Quartal geordert. Eine beeindruckende Zahl, wenn Sie bedenken, dass aktuell weltweit erst 50 dieser Maschinen im Einsatz sind. Auch die Anwendungsbereiche weiten sich aus: Während bisher nur Logik-Chips mit der EUV-Technologie hergestellt wurden, stellen jetzt auch die Hersteller von Speicherchips auf das neue Verfahren um. Deshalb bin ich mir sicher: Diese Technologie wird ASML noch viel Wachstum bringen.

Auch die Gesamtzahlen von ASML können sich sehen lassen: Im dritten Quartal 2019 erreichte der Konzern einen Umsatz von 3 Milliarden Euro, einen Nettogewinn von 627 Millionen Euro sowie eine Bruttomarge von satten 43,7 %.

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